A nagy tisztaságú gázvezeték-technológia fontos része a nagy tisztaságú gázellátó rendszernek, amely kulcsfontosságú technológia a szükséges nagy tisztaságú gáz felhasználási helyére történő eljuttatásában és a minősített minőség megőrzésében;A nagytisztaságú gázvezeték-technológia magában foglalja a rendszer helyes kialakítását, a szerelvények és tartozékok kiválasztását, a kivitelezést és a beépítést, valamint a tesztelést.Az utóbbi években a mikroelektronikai termékek nagyméretű integrált áramkörök gyártása során a nagy tisztaságú gázok tisztaságára és szennyezőanyag-tartalmára vonatkozó szigorúbb követelmények, amelyeket nagyméretű integrált áramkörök képviselnek, egyre inkább aggályossá és hangsúlyosabbá tették a nagy tisztaságú gázok csővezeték-technológiáját.Az alábbiakban rövid áttekintést adunk a nagy tisztaságú gázcsövekről az anyagválasztásbólof kivitelezés, valamint átvétel és napi irányítás.
A közönséges gázok fajtái
Az elektronikai iparban elterjedt gázok osztályozása:
Közönséges gázok（Tömeges gáz）: hidrogén (H2), nitrogén (N2), oxigén (O2), argon (A2), stb.
Speciális gázoka SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SZELEKTÍV AZONOSÍTÁSI JELLEG4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… stb.
A speciális gázok típusai általában korrozív jellegűekgáz, mérgezőgáz, gyúlékonygáz, éghetőgáz, inertgázstb. Az általánosan használt félvezető gázokat általában a következőképpen osztályozzák.
(i) Maró/mérgezőgáz: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…stb.
(ii) Gyúlékonysággáz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… stb.
(iii) éghetőséggáz: O2, Cl2, N2Ó, NF3… stb.
(iv) Inertgáz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Ő… stb.
Sok félvezető gáz káros az emberi szervezetre.Különösen egyes gázok, mint például a SiH4 spontán égés, amíg a szivárgás heves reakcióba lép a levegő oxigénjével és égni kezd;és AsH3erősen mérgező, minden csekély szivárgás emberi életet is veszélyeztethet, ez a nyilvánvaló veszélyek miatt van így, ezért a rendszer kialakításának biztonsági követelményei különösen magasak.
A gázok alkalmazási köre
A modern ipar fontos alapanyagaként a gáztermékeket széles körben alkalmazzák, a kohászatban, acéliparban, kőolajiparban, vegyiparban, gépiparban, elektronikai iparban, üvegiparban, kerámiában, építőanyagokban, építőiparban pedig nagyszámú közönséges gázt vagy speciális gázt használnak. , élelmiszer-feldolgozás, gyógyszeripar és orvosi ágazat.A gáz alkalmazása különösen ezeknek a mezőknek a csúcstechnológiájára van jelentős hatással, nélkülözhetetlen nyersanyaga gáz vagy technológiai gáz.Csak a különféle új ipari ágazatok, valamint a modern tudomány és technológia igényeivel és promóciójával lehet a gázipari termékeket ugrásszerűen fejleszteni változatosságban, minőségben és mennyiségben.
Gázalkalmazás a mikroelektronikában és a félvezetőiparban
A gáz felhasználása mindig is fontos szerepet játszott a félvezető eljárásokban, különösen a félvezető eljárást széles körben alkalmazták a különböző iparágakban, a hagyományos ULSI-tól, a TFT-LCD-től a jelenlegi mikro-elektro-mechanikai (MEMS) iparig. amelyek az úgynevezett félvezető eljárást használják a termékek gyártási folyamataként.A gáz tisztasága döntően befolyásolja az alkatrészek teljesítményét és a termékhozamokat, a gázellátás biztonsága összefügg a személyzet egészségével és az üzemi üzembiztonsággal.
A nagy tisztaságú csővezetékek jelentősége a nagy tisztaságú gázszállításban
A rozsdamentes acél olvasztása és anyaggyártása során körülbelül 200 g gáz abszorbeálható tonnánként.A rozsdamentes acél feldolgozása után nemcsak a felülete ragadt meg a különböző szennyeződésektől, hanem a fémrácsában is felszívott bizonyos mennyiségű gázt.Amikor levegő áramlik a csővezetéken, a fém elnyeli a gáznak ezt a részét, és újra belép a légáramba, szennyezve a tiszta gázt.Amikor a légáram a csőben nem folytonos áramlású, a cső nyomás alatt adszorbeálja a gázt, és amikor a légáramlás megszűnik, a cső által adszorbeált gáz nyomásesést képez a feloldáshoz, és a feloldott gáz a csőben lévő tiszta gázba is belép. mint szennyeződéseket.Ugyanakkor az adszorpció és a felbontás megismétlődik, így a cső belső felületén lévő fém bizonyos mennyiségű port is termel, és ezek a fémporrészecskék a cső belsejében lévő tiszta gázt is szennyezik.A csőnek ez a tulajdonsága elengedhetetlen a szállított gáz tisztaságának biztosításához, ami nemcsak a cső belső felületének nagyon nagy simaságát, hanem nagy kopásállóságát is megköveteli.
Erős korrozív hatású gáz használata esetén korrózióálló rozsdamentes acél csöveket kell használni a csővezetékekhez.Ellenkező esetben a cső belső felületén a korrózió miatt korróziós foltok keletkeznek, súlyos esetekben pedig nagy felületű fémlehúzás vagy akár perforáció is kialakul, ami szennyezi az elosztandó tiszta gázt.
Nagy tisztaságú és nagy tisztaságú, nagy térfogatáramú gázszállító és elosztó vezetékek csatlakoztatása.
Elvileg mindegyik hegesztett, és a hegesztés során a felhasznált csövek felépítése nem változik.A túl magas széntartalmú anyagok hegesztéskor ki vannak téve a hegesztett részek légáteresztő képességének, ami a gázok kölcsönös behatolását eredményezi a csövön belül és kívül, és tönkreteszi a továbbított gáz tisztaságát, szárazságát és tisztaságát, ami a hegesztési folyamat elvesztését eredményezi. minden erőfeszítésünket.
Összefoglalva, a nagy tisztaságú gáz- és speciális gázszállító vezetékeknél a nagy tisztaságú rozsdamentes acélcsövek speciális kezelését kell alkalmazni, nagy tisztaságú vezetékrendszert (beleértve a csöveket, szerelvényeket, szelepeket, VMB, VMP) készíteni. a nagy tisztaságú gázelosztás létfontosságú küldetést tölt be.
Az átviteli és elosztó csővezetékek tiszta technológiájának általános fogalma
A nagy tisztaságú és tiszta gáztestű csővezetékes átvitel azt jelenti, hogy a szállítandó gáz három aspektusára vonatkozóan bizonyos követelmények vagy szabályozások vonatkoznak.
Gáztisztaság: A szennyezőatmoszféra tartalma a ggázban Gáz tisztasága: A gáz szennyezőatmoszférájának tartalma, általában a gáz tisztaságának százalékában kifejezve, például 99,9999%, a szennyezőatmoszféra térfogatarányaként is kifejezve ppm, ppb, ppt.
Szárazság: a gázban lévő nyomnyi nedvesség mennyisége, vagy az úgynevezett nedvesség mennyisége, általában harmatpontban kifejezve, például a légköri nyomás harmatpontja -70.C.
Tisztaság: a gázban lévő szennyező részecskék száma, µm-es részecskeméret, hány részecske/M3 kifejezhető, sűrített levegő esetén, általában hány mg/m3 elkerülhetetlen szilárd maradékanyaggal is kifejezve, ami az olajtartalmat fedi. .
Szennyezőanyag méret szerinti besorolás: szennyező részecskék, elsősorban a csővezetékek súrlódására, kopására, fémrészecskék, légköri koromszemcsék, valamint mikroorganizmusok, fágok és nedvességtartalmú kondenzációs gázcseppek stb. által keltett korróziójára vonatkozik, szemcseméretének nagysága szerint részre van osztva
a) Nagy részecskék – 5 μm feletti részecskeméret
b) Részecske – anyagátmérő 0,1μm-5μm között
c) Ultra-mikro részecskék – 0,1 μm-nél kisebb részecskeméret.
Ennek a technológiának az alkalmazásának javítása érdekében, a részecskeméret és a μm-es egységek észlelési megértése érdekében referenciaként rendelkezésre áll egy meghatározott részecskeállapot.
Az alábbiakban konkrét részecskék összehasonlítását mutatjuk be
| Név / részecskeméret (µm) | Név / részecskeméret (µm) | Név/ részecskeméret (µm) |
| Vírus 0,003-0,0 | Aeroszol 0,03-1 | Aeroszolizált mikrocsepp 1-12 |
| Nukleáris üzemanyag 0,01-0,1 | Festék 0,1-6 | Pernye 1-200 |
| Korom 0,01-0,3 | Tejpor 0,1-10 | Növényvédőszer 5-10 |
| Gyanta 0,01-1 | Baktériumok 0,3-30 | Cementpor 5-100 |
| Cigarettafüst 0,01-1 | Homokpor 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Szilikon 0,02-0,1 | Növényvédőszer 0,5-10 | Emberi haj 50-120 |
| Kristályos só 0,03-0,5 | Tömény kénpor 1-11 | Tengeri homok 100-1200 |
Feladás időpontja: 2022. június 14