A nagy tisztaságú gázvezeték-technológia a nagy tisztességes gázellátó rendszer fontos része, amely a kulcsfontosságú technológia a szükséges nagy tisztaságú gáz felhasználáshoz történő szállításához, és továbbra is fenntartja a képesített minőséget; A nagy tisztaságú gázvezeték-technológia magában foglalja a rendszer helyes kialakítását, a szerelvények és tartozékok kiválasztását, az építkezést és a telepítést, valamint a tesztelést. Az utóbbi években a nagyszámú integrált áramkörök által képviselt mikroelektronikai termékek előállításában egyre szigorúbb követelmények a nagy szilárdságú gázok tisztaságára és szennyeződés tartalmára vonatkozóan, a nagyméretű gázok csővezeték-technológiáját egyre inkább aggódják és hangsúlyozzák. Az alábbiakban egy rövid áttekintés az anyagválasztásból származó nagy tisztaságú gázvezetékekrőlof Építés, valamint az elfogadás és a napi menedzsment.
A közönséges gázok típusai
A közönséges gázok osztályozása az elektronikai iparban：
Általános gázok（Ömlesztett gáz）: hidrogén (h2), nitrogén (N2), oxigén (o2), argon (a2), stb.
Speciális gázokSIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, BCL3 ,SZELEKTÍV AZONOSÍTÁSI JELLEG4 ,CLF3 ,Társ,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… stb.
A speciális gázok típusait általában maró hatásúak lehetnekgáz, mérgezőgáz, tűzveszélyesgáz, éghetőgáz, inertgázstb. A leggyakrabban használt félvezető gázokat általában az alábbiak szerint osztályozzák.
(i) korrozív / mérgezőgáz: Hcl, bf3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3…stb.
(ii) Túlérhetőséggáz: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch -ch3F, Co… stb.
(iii) éghetőséggáz: O2, Cl2, N2O, nf3… Stb.
(iv) inertgáz: N2, CF4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, Kr, ő… stb.
Sok félvezető gáz káros az emberi testre. Különösen ezeknek a gázoknak, például a SIH -nak4 A spontán égés, mindaddig, amíg a szivárgás hevesen reagál a levegőben lévő oxigénnel és elkezdi égni; és hamu3Nagyon mérgező, bármilyen enyhe szivárgás okozhatja az emberi élet kockázatát, ez a nyilvánvaló veszélyek miatt, tehát a rendszertervezés biztonságára vonatkozó követelmények különösen magas.
A gázok alkalmazási körét
A modern iparág fontos alapanyagként a gáztermékeket széles körben használják, és számos általános gázt vagy speciális gázt használnak a kohászat, acél, kőolaj, vegyipar, gépek, elektronika, üveg, kerámia, építőanyagok, építés, élelmiszer -feldolgozó, orvostudomány és orvosi szektorban. A GAS alkalmazása fontos hatással van ezeknek a mezőknek a csúcstechnológiájára, és ez nélkülözhetetlen nyersanyaggáz vagy folyamatgáz. Csak a különféle új ipari ágazatok, valamint a modern tudomány és technológia igényeivel és előmozdításával, a gázipar termékeit ugrásszerűen fejleszthetik ki a változatosság, a minőség és a mennyiség szempontjából.
Gáz alkalmazás a mikroelektronikában és a félvezető iparban
A GAS használata mindig fontos szerepet játszott a félvezető eljárásban, különösen a félvezető folyamatot széles körben alkalmazták a különféle iparágakban, a hagyományos ULSI-től, a TFT-LCD-től a jelenlegi mikroelektro-mechanikai (MEMS) iparig, amelyek mindegyike az úgynevezett félvezető folyamatot használja a termékek gyártási folyamataként. A gáz tisztasága döntő hatással van az alkatrészek és a termék hozamai teljesítményére, és a gázellátás biztonsága a személyzet egészségével és az üzemi műveletek biztonságával kapcsolatos.
A nagy tisztaságú csövek jelentősége a nagy tisztaságú gázszállításban
A rozsdamentes acél olvadása és az anyag előállítása során kb. 200 g gáz felszívódhat tonnánként. A rozsdamentes acél feldolgozása után nemcsak a különféle szennyeződésekkel ragasztott felülete, hanem a fémrácsában is egy bizonyos mennyiségű gázt is felszívott. Ha a csővezetéken keresztül légáram van, a fém felszívja a gáz ezen részét, és visszatér a légáramba, szennyezve a tiszta gázt. Amikor a csőben lévő légáram folytonos áramlás, a cső nyomás alatt adszorbeálja a gázt, és amikor a légáramlás leáll, a cső által adszorbeált gáz nyomásesést képez a megoldáshoz, és a feloldott gáz a csőben lévő tiszta gázba is belép. Ugyanakkor az adszorpciót és a felbontást megismételjük, úgy, hogy a cső belső felületén lévő fém bizonyos mennyiségű port termel, és ez a fémpor részecskék szintén szennyezik a tiszta gázt a cső belsejében. A csőnek ez a jellemzője elengedhetetlen a szállított gáz tisztaságának biztosításához, amely nemcsak a cső belső felületének nagyon nagy simaságát igényli, hanem a nagy kopásállóságot is.
Ha erős korrozív teljesítményű gázt használnak, korrózióálló rozsdamentes acélcsöveket kell használni a csövekhez. Ellenkező esetben a cső a korrózió miatt korróziófoltokat termel a belső felületen, és súlyos esetekben nagy a fémszűrés vagy akár a perforáció, amely szennyezi az elosztandó tiszta gázt.
A nagy tisztaságú és a magas tisztaságú gázátviteli és a nagy áramlási sebességű elosztóvezetékek összekapcsolása.
Alapvetően mindegyik hegesztésre kerül, és a felhasznált csöveknek nem kell változniuk a szervezetben, ha a hegesztést alkalmazzák. A túl magas széntartalmú anyagokat a hegesztett alkatrészek légáteresztő képessége alá tartozik hegesztéskor, ami a gázok kölcsönös behatolását teszi a cső belsejében és kívül, és megsemmisíti az átadott gáz tisztaságát, szárazságát és tisztaságát, ami minden erőfeszítésünk elvesztését eredményezi.
Összefoglalva: a nagy tisztaságú gáz- és speciális gázátviteli csővezetékhez a nagy tisztaságú csővezeték-rendszer előállításához a nagy tisztaságú gázeloszlásban a nagy tisztaságú csővezeték-rendszer (beleértve a csöveket, szerelvényeket, szelepeket, VMP-t, VMP-t) elkészíthető a nagy tisztaságú csővezeték-rendszer előállításához.
A tiszta technológia általános koncepciója az átviteli és elosztási csővezetékekhez
Az erősen tiszta és tiszta gáztest -átvitel csövekkel azt jelenti, hogy vannak bizonyos követelmények vagy ellenőrzések a szállított gáz három szempontjának.
Gáz tisztaság: A szennyeződés légkörének tartalma a GGA -k tisztaságában: A szennyeződés -légkör tartalma a gázban, általában a gáz tisztaságának százalékában, például 99,9999%-ban, szintén a szennyeződés atmoszférájának térfogatarányában fejezhető ki PPM, PPB, PPT.
Szárazság: A gáz nedvességtartalmának mennyisége, vagy a nedvességnek nevezett mennyiség, amelyet általában harmatpontban fejeznek ki, például a légköri nyomás -harmatpont -70. C.
Tisztítás: A gázban található szennyező részecskék száma, µm részecskemérete, hány részecske/m3 expresszálható, sűrített levegő esetén, általában azt is kifejezve, hogy hány mg/m3 elkerülhetetlen szilárd maradékot tartalmaz, ami az olajtartalmat lefedi.
Szennyezőanyag-méretű osztályozás: A szennyezőanyag-részecskék, elsősorban a csővezeték-súrolásra, a kopásra, a fémrészecskék által generált korrózióra, a légköri koromrészecskékre, valamint a mikroorganizmusokra, a fágokra és a nedvességtartalmú gázkondenzációs cseppekre stb.
a) Nagy részecskék - 5 μm feletti részecskeméret
b) részecske-anyag átmérője 0,1 μm-5 μm között
c) ultra mikro részecskék-a részecskeméret kevesebb, mint 0,1 μm.
Annak érdekében, hogy javítsa e technológia alkalmazását, hogy képes legyen a részecskeméret és a μM egységek észlelési megértése, a referenciaként meghatározott részecske státusza áll rendelkezésre
Az alábbiakban összehasonlítjuk a specifikus részecskéket
| Név /részecskeméret (µm) | Név /részecskeméret (µm) | Név/ részecskeméret (µm) |
| Vírus 0,003-0.0 | Aeroszol 0,03-1 | Aeroszolizált mikrodroplet 1-12 |
| Nukleáris üzemanyag 0,01-0,1 | Festés 0,1-6 | 1-200 pernye |
| Szénfekete 0,01-0.3 | Tejpor 0,1-10 | Peszticid 5-10 |
| Gyanta 0,01-1 | Baktériumok 0,3-30 | Cementpor 5-100 |
| Cigarettafüst 0,01-1 | Homokpor 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Szilikon 0,02-0.1 | Peszticid 0,5-10 | Emberi haj 50-120 |
| Kristályos só 0,03-0,5 | Koncentrált kénpor 1-11 | Tengeri homok 100-1200 |
A postai idő: június 14-2022