A félvezető piac növekedésével a tisztaság és a pontossági előírások szigorúbbá válnak. A félvezető gyártás minőségének egyik meghatározó tényezője a folyamatban használt gázok. Ezek a gázok sok szerepet játszanak a gyártási folyamatban, beleértve:
Precíziós folyamatvezérlés
Szennyezés megelőzése
Kohászati ingatlanjavítás
E szerepek hatékony teljesítéséhez a gázellátási és elosztórendszernek hatékonynak kell lennie. A félvezető gyártásban használt gázkezelő rendszerek tervezését robusztus alkatrészek és testreszabott szerelvények támogatják, hogy biztosítsák a félvezetők megbízható és kiváló minőségű előállítását.
A félvezető gyártásában használt gázok
A félvezetők gyártásának folyamata különféle gázok használatát igényli a folyamat különböző szakaszaiban.
Míg a közönséges gázok, például a nitrogén, a hidrogén, az argon és a hélium tiszta formájukban is felhasználhatók, egyes folyamatokhoz speciális keverékeket igényelhetnek. A szilánok vagy sziloxánok, hexafluoridok, halogenidek és szénhidrogének néhány a félvezető gyártáshoz használt speciális gázok közül néhány. Ezeknek a gázoknak sok része veszélyes vagy nagyon reakcióképes lehet, és kihívásokat jelent a gázrendszerek alkatrészeinek kiválasztásában és megtervezésében.
Íme néhány példa:
\ A hidrogén és a hélium könnyedén kiszivároghat a csövekből és az illesztő rendszerekből, kis atomméretük és súlyuk miatt.
\ Silanes nagyon tűzveszélyes és spontán módon éghet (autoignit) a levegőben.
A lerakódáshoz használt nitrogén -difluorid, a maratás és a kamra tisztító szakaszai, erős üvegházhatású gázmá válik, amikor kiszivárogtatják a környezetbe.
\ A hidrogén -fluorid (maratási gáz) nagyon korrozív a fémcsövekhez.
\ Trimetil -gallium és ammónia nehéz lehet kezelni - a hőmérsékletük és a nyomásigényük kis ingadozása befolyásolhatja a lerakódási folyamatot.
Az ezen gázok negatív hatásainak minimalizálása érdekében a rendszer kialakítása során kiemelt prioritásnak kell lennie a folyamatviszonyok ellenőrzésére. Ugyanilyen fontos a legmagasabb minőségű alkatrészek, például az AFK membránszelepek használata az építkezés során.
A rendszer tervezési kihívásainak kezelése
A félvezető minőségű gázok a legtöbb tisztaságúak, és inert állapotokat biztosítanak, vagy fokozzák a reakciókat a gyártási folyamat különböző szakaszaiban, például a maratás és a lerakódási gázok. Az ilyen gázok szivárgása vagy szennyeződése negatív hatással lehet. Ezért kritikus fontosságú, hogy a rendszerkomponensek hermetikusan lezártak és korrózióállóak, valamint sima felületi befejezéssel (elektrolitikus polírozással) rendelkezzenek, hogy ne legyen lehetőség a szennyeződésre, és hogy rendkívül magas a tisztaság.
Ezen túlmenően ezeknek a gázoknak egy része melegíthető vagy lehűthető, hogy elérjék a kívánt folyamatfeltételeket. A jól szigetelt alkatrészek biztosítják a hőmérséklet-szabályozást, amely kritikus fontosságú a végtermék hatékony teljesítménye szempontjából.
A forrásbemeneti nyílásoktól a használati pontig az AFK széles tartománya támogatja az ultra-magas tisztaságot, a hőmérsékletet, a nyomás és az áramlásszabályozást a félvezető tisztítószobákban és a vákuumkamrákban.
Tervezett rendszerek minőségi alkatrészekkel félvezető fabs -ban
A minőségi alkatrészek szerepe és a tervezés optimalizálása kritikus jelentőségű a félvezetők pontos vezérlése és biztonságos gyártása szempontjából. A felhasznált alkatrészeknek robusztusnak és szivárgásmentesnek kell lenniük, hogy megfeleljenek a gyártás különböző szakaszaiban szükséges változó folyamatfeltételeknek. AFK kiváló minőségű szelepei, szerelvényei, szabályozók, csövek és tömítőanyagok a következő jellemzők jellemzik:
Rendkívül magas tisztaság
Szivárgásmentes pecsétek
Hőmérsékleten szabályozott szigetelés
Nyomásszabályozás
Korrózióállóság
Elektrolitikus polírozási kezelés
A postai idő: október-09-2023