A gázok használata a félvezető iparban az 1950 -es és 1960 -as évek elejére nyúlik vissza. A félvezető gyártási eljárás során a gázokat elsősorban a félvezető anyagok tisztítására és védelmére használják tisztaságuk és minőségük biztosítása érdekében. A leggyakrabban használt gázok között vannak a nitrogén és a hidrogén.
Ahogy a félvezető technológia fejlesztette, és a gyártási folyamatok tovább javultak, a gázok iránti kereslet növekedett. 1970 -ben a félvezető gyártási technológia továbbfejlesztése, a gázok alkalmazása olyan kulcsfontosságú folyamatokban, mint a maratás és a vékony fóliák lerakódása fokozatosan megnövekedett, és a fluoridgázok (pl. SF6) és az oxigén általában használt maratási és lerakódási gázokat használtak. 1980 -ban az integrált áramkörök fejlesztésével és az iránti kereslet növekedésével tovább növekedett a gázok iránti kereslet. A hidrogént széles körben használták a gyártási folyamatban, ideértve a hidrogén -lágyítást és a hidrogéngőz lerakódását. És 1990-től a mai napig a nagy tisztaságú gázok és a specifikus gázok iránti kereslet növekedett, mivel a félvezető készülékek mérete továbbra is csökken, és új folyamatokat vezettek be. Például a szélsőséges ultraibolya litográfia (EUV) alkalmazása rendkívül nagy tisztességes gázok, például nitrogén és hidrogén használatához szükséges.
A félvezető gáz tovább növekszik a kapcsolódó termékek fejlesztésével, amelyeket egyre több termék vezet, míg a gáz a veszély forrásához is tartozik, tehát a gázdekompresszióhoz használt termékek, a gázérzékelő termékek és a gázszivárgások megelőzésének megakadályozása, például a nyomásszabályozók, a gázszelepek, a gáznyomás -grafikonok, a gázszivárgások stb.
Nyomásszabályozók: A nyomásszabályozók olyan eszközök, amelyeket a gáznyomás szabályozására használnak. Általában szabályozószelepből és nyomásérzékelőből állnak. A nyomásszabályozók nagynyomású gázbemenetet vesznek fel, és stabilizálják a kimeneti gáz nyomását azáltal, hogy beállítják a szelepet, hogy megfeleljenek az alkalmazási követelményeknek. A nyomásszabályozókat széles körben használják olyan területeken, mint az ipar, a gyártás és a laboratóriumok, valamint a félvezető iparban, a gázellátás stabilitásának és biztonságának biztosítása érdekében.
Gázszelepek: A gázszelepeket használják a gázok áramlásának szabályozására és a gáz átjárók bezárására. Általában be- és kikapcsolási funkciójuk van, amely kinyitja vagy bezárja a gázáramot. Különböző típusú gázszelepek léteznek, beleértve a kézi szelepeket, az elektromos szelepeket és a pneumatikus szelepeket. Széles körben használják a gázrendszerekben a gázok áramlásának, nyomásának és áramlási sebességének szabályozására.
Gáznyomásmérők: Gáznyomásmérőket használnak a gáz nyomásszintjének mérésére. Általában a gázrendszer kritikus helyein vannak felszerelve, hogy figyelemmel kísérjék a nyomásváltozásokat és biztosítsák, hogy azok biztonságos korlátokon belül legyenek. A gáznyomásmérőket széles körben használják az iparban, a gyártásban és a laboratóriumokban, és a félvezető ipar is részt vett.
Gázszivárgási detektorok: A gázszivárgás -detektorokat használják a gázrendszerek szivárgásainak észlelésére. FelismerikA gázszivárgások jelenléte és riasztásnak hangzik, így időszerű intézkedéseket lehet tenni a szivárgási balesetek megelőzése érdekében. A gázszivárgás -detektorokat széles körben használják ipari, vegyi, olaj- és gázkérelmekben, és a félvezető ipar is részt vett.
A postai idő: február-2024