A farokgáztisztító berendezések képesek kezelni a maratási folyamatokban használt gázokat és a kémiai gőzlerakódási eljárásokat a félvezető, a folyadékkristály és a napenergia -iparban, beleértve az SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O és SO.
Kipufogógáz -kezelési módszer
A kipufogógáz -kezelés jellemzői szerint a kezelés négyféle kezelésre osztható:
1. vízmosás típus (korrozív gázok kezelése)
2. oxidáló típus (éghető és mérgező gázokkal foglalkozik)
3. adszorpció (a megfelelő kipufogógáz kezelésére szolgáló adszorpciós anyag típus szerint).
4.Plasma égés típusa (minden típusú kipufogógáz kezelhető).
Minden egyes kezelésnek megvannak a saját előnyei és hátrányai, valamint az alkalmazási kör. Ha a kezelési módszer vízmosás, a berendezés olcsó és egyszerű, és csak vízben oldódó gázokat képes kezelni; Az elektromos vízmosás típusának alkalmazási tartománya magasabb, mint a vízmosás típusának, de a működési költségek magas; A száraz típusnak jó kezelési hatékonysága van, és nem alkalmazható a gázáramlásra, amelyet könnyű eltömődni vagy áramolni.
A félvezetőiparban általánosan alkalmazott vegyi anyagok és azok melléktermékei kémiai tulajdonságaik és különféle tartományuk szerint kategorizálhatók:
1. Tüstöletlen gázok, például SIH4H2 stb.
2. Mérgező gázok, például ASH3, PH3, stb.
3. Korróív gázok, például HF, HCL stb.
4. üvegházhatású gázok, például CF4, NF3, stb.
Mivel a fenti négy gáz káros a környezetre vagy az emberi testre, meg kell akadályoznia a légkörbe történő közvetlen kibocsátását, így az általános félvezető növényt egy nagy központosított kipufogógáz-kezelő rendszerrel kell felszerelni, de ez a rendszer csak a vízmosó kipufogógáz, tehát alkalmazása a távolsági vízben oldódó gázokra korlátozódik, és nem képes kezelni a félig eljáró kiszivárgók kipufogógázának folyamatosan forgatott és tompított megosztását. Ezért ki kell választani és egyeztetni a megfelelő kipufogógáz -kezelő berendezést az egyes eljárásokból származó gázjellemzőknek, hogy a kipufogógáz -problémát kicsi módon oldja meg. Mivel a munkaterület többnyire távol van a központi kipufogógáz -kezelő rendszertől, gyakran a gázjellemzők miatt kristályosodáshoz vagy por felhalmozódásához vezet a csővezetékben, ami a csővezeték eltömődését eredményezi, ami a gázszivárgáshoz vezet, és komoly esetekben akár robbanást is okozhat, nem biztosíthatja a helyszíni személyzet biztonságát. Ezért a munkaterületen konfigurálnia kell egy kis kipufogógáz -kezelő berendezést, amely alkalmas a folyamatgáz jellemzőire, hogy csökkentse a munkaterület stagnáló kipufogógázát, hogy biztosítsa a személyzet biztonságát.
A postai idő: augusztus-10-2023