1 | Max. üzemi nyomás 20,6 MPa. |
2 | Max.üzemi hőmérséklet 204 ℃ (magas hőmérsékletű környezet 454 ℃-ig, ekkor a tömítőanyagot expandált grafittal helyettesítik) |
3 | Szűrőrendszer Szennyező részecskék, gázok, folyadékok alkalmazhatók. |
4 | Rozsdamentes acél porkohászati szinterezett szűrő szűrő pontossága 2μm ~ 40μm |
5 | Szűrőáram 1x 10 -6~1×10-2L/perc.cm2.pa |
6 | A szűrő cserélhető. |
A szűrő termékjellemzői
1 | Széles alkalmazási tartomány, áramlási tartomány 15-300SL / perc. |
2 | Jól kompatibilis a legtöbb nagy tisztaságú félvezető technológiai gázzal. |
3 | 3 nanorészecske szűrési kapacitása magas áramlási hatékonyságot és ultra-kis nyomásesést biztosít. |
4 | Az 5Ra elektropolírozott felület megakadályozhatja a belső szennyeződést. |
5 | Sütés forró nitrogénnel ionmentesített víz után, hogy megfeleljen a félvezető eljárás szabványainak. |
6 | 1000 szintű pormentes aszeptikus műhely gyártási, takarítási és csomagolási környezet. |
7 | Tesztelje a 100%-os héliumszivárgást. |
Bemenet | Kimenet | |
1 | 1/8"-os csőcsatlakozás | 1/8"-os csőcsatlakozás |
2 | 1/4" csőcsatlakozás | 1/4" csőcsatlakozás |
3 | 3/8"-os csőszerelvény | 3/8"-os csőszerelvény |
4 | 1/2"-os csőcsatlakozás | 1/2"-os csőcsatlakozás |
5 | 6 mm-es csőszerelvény | 6 mm-es csőszerelvény |
6 | 8 mm-es csőszerelvény | 8 mm-es csőszerelvény |
7 | 10 mm-es csőszerelvény | 10 mm-es csőszerelvény |
8 | 12 mm-es csőcsatlakozás | 12 mm-es csőcsatlakozás |
9 | 1/8″ női NPT | 1/8″ női NPT |
10 | 1/4″ női NPT | 1/4″ női NPT |
11 | 1/4″ férfi NPT | 1/4″ férfi NPT |
12 | 3/8″ férfi NPT | 3/8″ férfi NPT |
13 | 1/2″ férfi NPT | 1/2″ férfi NPT |
A szűrő termékteljesítmény-paraméterei
1 | Szűrési pontosság | ≥0,0025 μm | |
2 | Szűrés hatékonysága | Eltávolítási sebesség99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Névleges áramlás | 15L/min | |
4 | 60L/perc | ||
5 | 120L/perc | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Szűrő összetétele | szűrőbetét | 316L/PTFE |
9 | ház | rozsdamentes acél 316L | |
10 | Munkakörülmények | Maximális bemeneti nyomás | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Maximális nyomáskülönbség | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Maximális üzemi hőmérséklet | 430 ℃ (inert gáz) | |
13 | Hélium szivárgási sebesség | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Felület kidolgozása | ≤Ra 5μin |